中國工程物理研究院開發的等離子體煙氣脫硫脫硝工業試驗裝置，由12000Nm3/h煙氣處理量的電子束輻照煙氣脫硫脫硝工業化試驗裝置和脈沖電暈放電脫硫脫硝工業試驗裝置組成，二者共用煙氣參數調節和副產物收集裝置。裝置采用加氨的工藝流程，處理的煙氣來自自備燃電廠。

該裝置由煙氣調節系統、氨投加裝置、副產物收集裝置、測量控制系統、脈沖電暈放電處理系統等6個主要部分組成。來自電廠水膜除塵器前和水膜除塵器后的煙氣經冷卻塔隆降溫增濕后，被送至反應器中處理，同時噴入氨。處理后的煙氣被輸送至副產物收集裝置，其中的硫酸銨和硝酸銨被收集，處理后的煙氣則由煙囪排出。

該裝置是我國自行設計和建造的第一套工業化試驗裝置。